加速度計，是物體加速度的測量設備。

小型加速度計（加速度傳感器）是MEMS技術制造的。MEMS加速度傳感器用于汽車安全氣囊，汽車導航測斜儀，游戲控制器等，因為它們的質量小且靈敏度降低，但可以xxx縮小尺寸。由于精度是根據測量軸指定的，因此除非軸方向由外殼的固定表面（及其加工精度）確定，否則加速度傳感器建議的精度將毫無意義。

帶有重物的彈簧以共振頻率振動。當對砝碼施加加速度時，施加在彈簧上的應力會發生變化，因此彈簧的共振頻率也會發生變化。這是吉他的的字符串是相同的原則，當你松開或拉伸這種變化的聲音。通過檢測該頻率變化來檢測加速度。

使用Q值高的彈簧結構（通常使用音叉型）可以提高頻率變化檢測的精度，因此可以獲得較高的測量精度。

該原理還用于精確測量物體重量（例如電子天平）的設備中。在這種情況下，由于施加到彈簧上的應力根據物體的重量而變化，所以發生頻率變化。

有幾種類型的光學加速度傳感器，其用于光學地傳遞由加速度引起的位置變化，以進行檢測和放大，并最終由光學傳感器轉換成電信號。在FBG光纖類型中，通過將施加到重量上的加速度設置為對?FBG（光纖布拉格光柵）光纖的張力來檢測波長的變化。有時將通過半導體加速度傳感器測量的數據在光纖上傳輸的對象稱為光學類型，并且有各種類型。

機械和光學加速度計需要制造，調整和修理，增加了成本，并且不適合小型化或智能化，因此在各種最新設備中使用的半導體加速度計采用半導體方法正在增加。兩者都使用MEMS（微機電系統）技術。

電容類型

編輯

檢測由梁結構支撐的小的可移動部分處的位置的微小變化作為電容的變化，并通過電路對其進行放大和測量。通過創建兩種類型的梳齒結構來檢測電容，可以提高檢測精度：粗糙和精細。

壓阻型

編輯

通過硅半導體制造技術通過將表面薄化成環形來形成隔膜。中心重物由這種薄金屬支撐，使檢測加速度引起的位移更容易。膜片位置的變化由壓阻元件檢測，并由電路放大和測量。通過設計膜片和壓阻元件的安裝方式，可以檢測三軸方向的加速度。

氣體溫度分布類型

編輯

通過周圍的溫度測量電阻器電橋的電阻變化，檢測出在腔體的中心處變暖和變輕的氣體由于加速度而移動，并且被電路放大并測量。即，在其他方法中，將比空氣重的重量作為質量，但在該方法中，將比空氣輕的氣體部分視為質量。由于沒有機械移動部件，因此MEMS工藝的成品率良好，可以以低成本制造。