掃描探針顯微術（是坂田探針顯微鏡，掃描探針顯微鏡?; SPM）有一個尖頭探針被用來通過移動，從而擴大了表面狀態的觀察，這是一種以跟蹤的物質的表面顯微鏡。

作為一個實際的例子，觀察表面時，分鐘電流利用（隧道電流）掃描隧道顯微鏡（STM），原子力利用原子力顯微鏡，包括多種類型的（AFM）。

基本配置包括固定并移動測量目標的樣品臺，檢測靠近樣品表面的局部相互作用的探針以及控制它們的控制器。此外，樣品的電或磁場施加機構用于改變樣品溫度輻射或光，或通過冷卻和加熱，真空為室?-?泵等被附連在根據目的。

依賴于光的波長的光學顯微鏡比空間分辨率非常高，超高真空中，AFM和STM是原子可以觀察以下級別的表面不規則性。與電子顯微鏡相比，某些打算在大氣中進行測量的設備尺寸特別小，可以安裝在桌子上。在實際情況中，廣泛使用了易于測量，價格便宜并且不需要超高真空的設備，并且AFM通常僅用于測量表面形狀。

樣品臺主要使用能夠將臺階控制在納米水平的壓電臺，在這種情況下，樣品的可測量面積為數十μm以下，高度為10μm以下。還有一種可以通過組合電機臺來測量4英寸晶圓中數十微米的設備。

xxx掃描探針顯微鏡，IBM在格爾德·賓寧開發由（格爾德·賓寧）STM是。但是，由于STM使用隧道電流，因此無法觀察絕緣子。因此，類似于Binihhi?AFM利用由（1986）開發的原子力，鋪展測量。基于這些，開發了SPM不僅可以評估表面形狀，還可以評估各種局部表面特性。

目前，AFM是一個磁盤的表面粗糙度（表面粗糙度）測量值，DVD?0.1這樣壓模微米已成為不可或缺的測量儀器用程序之前和之后的不規則性測量。它也用于評估絕緣樣品和含有水分的生物樣品。