目錄
半導體工程
編輯半導體技術是一種半導體器件的設計和制造,性能評價,如壽命,半導體處理和測量使用工程。
設計
編輯制造技術
編輯- 直拉法
- 區域熔融法
- 擴散(熱擴散)/?氧化(熱氧化)
- 蒸氣沉積
- 濺鍍
- 旋涂
- CVD(化學氣相沉積)
- PVD(物理氣相沉積)
- MBE(分子束外延)
- 外延生長
- 離子注入
- 光刻(圖案)
- 刻蝕
- FIB(聚焦離子束)
- CMP(化學機械拋光)
- 金屬化(接線)
- 多層布線
- 制造過程中的缺陷檢測
- 測試圖案
- 流程管理
半導體物理性能的測量手段
編輯半導體的各種物理性質用于研發,制造時的特性評估,其中許多與半導體應用密切相關。
- 電導率
- 霍爾效應
- PN結和肖特基結的特征:
- 成分和雜質:EDX,EPMA,SIMS,ICP
- 結構:光學顯微鏡,XRD,RBS,拉曼效應,SEM,TEM,AFM,XRF,SPM,SCM
- 能帶結構等:光電效應?/?光電子能譜,反光電子能譜,DLTS,光致發光
產品性能評估
編輯- 電氣特性
- 直流特性
- 交流特性
- 生活篇
- 可靠度
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