MEMS微機電系統是機械部件、傳感器、致動器、電子電路中的一個硅襯底、玻璃襯底上的有機材料的頂部微細加工技術是指集成由設備。根據工藝限制和材料差異，機械結構和電子電路可以是單獨的芯片，但這種混合也稱為MEMS。

主要部分由LIGA工藝和半導體集成電路制造技術制成，但也包括犧牲層蝕刻工藝以形成三維形狀和可移動結構。

最初，MEMS的研發主要是為了替換諸如傳感器之類的現有設備，但是近年來，作為在僅允許MEMS的環境中的實驗手段，它已經引起了人們的注意。例如，電子顯微鏡的內部是高真空且具有微小的空間，但是如果是MEMS，則可以使用小尺寸和機械性能來進行電子顯微鏡下的實驗。它也用作處理，捕獲和分析納米和微米材料（例如DNA和生物樣品）的工具。

當前，可商購的產品用于噴墨打印機頭、壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀、投影儀和照片打印機中使用的DMD、光學3D打印機、激光投影儀等。有檢流計等，應用范圍正在逐漸擴大。

隨著市場規模的擴大和應用領域的多樣化，人們對它的期望很高，因此被稱為第二DRAM。

研究階段和預期應用領域

主要實現高頻開關和諧振器。

在機械高頻開關的情況下，雖然操作速度比半導體高頻開關的操作速度慢，但是可以實現低損耗開關。

諧振器可以做得很小并且具有較高的Q值。盡管即使使用石英也可以實現高Q值，但是由于其可以由硅制成，所以與集成電路的集成容易。

• 高頻開關
• 篩選器
• 振蕩器：用晶體振蕩器代替

• 用于光通信的光開關
• 光學掃描儀
• 投影顯示
• 電子紙
• 頭戴式顯示器

• 微型閥
• 微通道

• DNA分析芯片
• 蛋白質分析芯片

• 驗血芯片
• 主動導管
• 藥物輸送系統

• 壓力傳感器
• 觸覺感應器
• 慣性傳感器
  • 加速度傳感器
  • 陀螺儀傳感器
• 化學傳感器
• 麥克風：代替ECM使用

• 微型推進器
• 微量熱量計

生命科學領域中使用的MEMS 稱為BioMEMS。有各種各樣的應用示例，并且正在開發以替代使用常規固定分析儀的血液測試和抗體測試。自2000年以來，智能手機中內置的加速度傳感器和陀螺儀傳感器已在MEMS中投入實際使用，但下一個有望成為有前途的領域將逐步擴展到生命科學領域。由于傳統的固定式分析儀可以通過BioMEMS使其具有更高的可穿戴性，因此可以改善可穿戴性，這有望改善慢性病患者的生活質量（QOL）。

除集成電路制造技術外，MEMS中使用的技術

• 體微機械加工（體微）
• 表面微機械加工（表面微）

• 犧牲層蝕刻
• 深蝕刻：ICP-RIE
• 各向異性蝕刻
• 多階段蝕刻

• 光刻技術
• 利加
• 3D光刻
• 電子束直接拉制
• 厚膜抗蝕劑

• 直接粘接
• 陽極鍵合