多個波疊加時，每一波相位波加強的部分中相互匹配，其中，通過利用破壞性在相位反轉的部分，波長（頻率）和測量相位差的技術。利用此原理的設備主要稱為干涉儀。

伽瑪射線從可見光，無線電波，聲波在研究和電磁波工程跨越區域的產品生產管理（和校準）工作原理是一項基本的技術，設備和使用這一原則在相當廣泛的領域。

• 邁克爾遜干涉儀

光束被分束器分成兩束，并且兩束光重新組合產生干涉。光學距離根據折射率和光束通過的介質的距離而變化，這可以通過干涉條紋的圖案來觀察。從而，可以檢測氣體的密度分布和玻璃的變形。

• 福柯干涉儀-主要用于入射角驗證
• Fizeau干涉儀-主要用于測量反射表面的粗糙度和變形
• Fabry-Perot干涉儀-用于帶通濾光片等，因為其波長特性使透射率以規則的間隔增加。那些用作帶通濾波器的也稱為標準具。
• 特威曼干涉儀
• 賈曼干涉儀
• 馬赫曾德爾干涉儀
• 沃森干涉儀
• 鏡面干涉儀
• 特威曼干涉儀
• 全息攝影