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單片微波集成電路
編輯單片微波集成電路或MMIC(有時稱為“模擬”)是一種以微波頻率(300 MHz至300 GHz)工作的集成電路(IC)設備。這些設備通常執行諸如微波混合,功率放大,低噪聲放大和高頻切換之類的功能。MMIC設備上的輸入和輸出通常與50歐姆的特性阻抗匹配。這使它們更易于使用,因為級聯的MMIC不需要外部匹配網絡。此外,大多數微波測試設備都設計為在50歐姆的環境中運行。
單片微波集成電路尺寸很小(從1平方毫米到10平方毫米),并且可以批量生產,這使諸如手機之類的高頻設備得以普及。MMIC最初是使用砷化鎵(GaAs)(一種III-V化合物半導體)制造的。與傳統實現IC的傳統材料硅(Si)相比,它具有兩個基本優勢:器件(晶體管)速度和半絕緣襯底。這兩個因素都有助于設計高頻電路功能。但是,隨著晶體管特征尺寸的減小,基于Si的技術的速度逐漸提高,并且現在也可以采用Si技術來制造MMIC。Si技術的主要優點是與GaAs相比,其制造成本更低。硅晶片的直徑更大(與GaAs的4“到8”相比,通常為8“到15”),晶片的成本更低,從而有助于降低IC的成本。
最初,MMIC使用金屬半導體場效應晶體管(MESFET)作為有源器件。最近,高電子遷移率晶體管(HEMT),假晶型HEMT和異質結雙極晶體管已變得很普遍。
磷化銦(InP)等其他III-V技術在增益,更高的截止頻率和低噪聲方面均表現出優于GaAs的性能。然而,由于較小的晶片尺寸和增加的材料易碎性,它們也往往更昂貴。
硅鍺(SiGe)是一種基于Si的化合物半導體技術,與傳統的Si器件相比,它提供了更高的晶體管速度,但具有相似的成本優勢。
氮化鎵(GaN)也是MMIC的一種選擇。由于GaN晶體管可以比GaAs晶體管在更高的溫度下工作并且可以在更高的電壓下工作,因此它們是理想的微波頻率功率放大器。
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