微型閥是微尺度閥。即，微流體調節兩個流體端口之間流動的兩端口組件。微型閥是微流體設備（如芯片實驗室）中的基本組件，用于控制流體傳輸。在1995年至2005年期間，開發了許多基于微機電系統的微型閥。

今天發現的微型閥可大致分為主動微型閥和被動微型閥。根據它們控制的介質，微型閥可分為氣體微型閥和液體微型閥。根據其初始模式，微閥可分為常開、常閉和雙穩態微閥。

主動式機械微型閥由機械可移動的膜片或凸臺結構組成，與可關閉孔口的致動方法耦合，從而阻塞了入口和出口之間的流動路徑。致動器可以是集成的磁性、靜電、壓電或熱微致動器，“智能”相變，例如形狀記憶合金或流變材料，或外部施加的致動機構，例如外部磁場或氣動源。

被動微閥是通過其控制的流體確定其工作狀態（即打開或關閉）的閥。最常見的被動微型閥是瓣閥，薄膜微型閥和球形微型閥。

用MEMS微型閥控制氣流具有以下一般性好處：操縱機構與其他微型閥組件的集成使組件小型化；組件的尺寸小，響應時間快，功耗低。然而，盡管微機電系統（MEMS）技術提供了具有成本效益的批量制造的潛力，但迄今為止，氣體微閥仍無法達到廣泛采用該技術所需的關鍵性能成本比。

大多數單向閥都集成在往復式微型泵的進口和出口中，在這些單向閥中，它們可以為閥提供一個方向上的凈泵流量所需的液體精餾。