• 真空泵

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    什么是真空泵

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    真空泵是繪制的裝置的氣體分子從密封的體積,以留下的部分真空。真空泵的工作是在容量范圍內產生相對真空。xxx個真空泵由奧托·馮·居里克(Otto von Guericke)于1650年發明,隨后是吸氣泵,該泵可追溯到上古。

    真空泵的類型

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    可以根據以下三種技術對泵進行大致分類:

    容積泵使用一種機制來反復擴大空腔,允許氣體從腔室流入密封空腔,然后將其排放到大氣中。動量傳遞泵也稱為分子泵,它使用稠密流體高速射流或高速旋轉的葉片將氣體分子敲出腔室。捕集泵捕獲固態吸附態的氣體。這包括低溫泵、吸氣劑和離子泵。

    真空泵

    正排量泵對于低真空最有效。動量傳遞泵與一兩個正排量泵結合使用是實現高真空的最常見配置。在這種配置中,容積泵具有兩個目的。首先,由于動量傳遞泵無法在大氣壓下開始泵送,因此在動量傳遞泵可用于獲得高真空之前,先在要抽空的容器中獲得大致真空。其次,正排量泵通過將高真空泵中被置換的分子的積聚排空至低真空來備份動量傳遞泵。可以添加捕集泵以達到超高真空度,但它們需要定期再生捕集空氣分子或離子的表面。由于這一要求,它們在低真空和高真空下的可用操作時間可能會短得令人無法接受,從而將它們的使用限制在超高真空下。泵在細節上也有所不同,例如制造公差、密封材料、壓力、流量、是否允許吸入油蒸汽、維修間隔、可靠性、對灰塵的耐受性、對化學藥品的耐受性、對液體和振動的耐受性。

    真空泵的應用

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    真空泵用于許多工業和科學過程中,包括復合塑料成型過程,大多數類型的電真空管和CRT的生產,在該過程中,該設備可以抽真空或重新填充特定的氣體或混合氣體、半導體加工尤其是離子注入,干法蝕刻和PVD、ALD、PECVD和CVD沉積等在光刻電子顯微鏡,需要抽吸的醫學過程,鈾濃縮,醫學應用(例如放射治療、放射外科和放射藥學)中,分析儀器,用于分析氣體、液體、固體、表面和生物材料;質譜儀可在離子源檢測器之間產生高真空;玻璃金屬和塑料上的真空涂層可用于裝飾、耐用性和節能等。用作低輻射玻璃,發動機部件的硬涂層(如一級方程式)、眼罩、擠奶機和奶牛棚中的其他設備,對木材電動機繞組等多孔產品進行真空浸漬、空調服務(清除所有污染物)從系統中注入制冷劑垃圾壓實機、真空工程、污水處理系統、冷凍干燥和融合研究。在油再生和精煉領域,真空泵為油脫水創造了低真空,為油凈化創造了高真空。特別是在變壓器維護領域,真空泵在變壓器油凈化設備中起著至關重要的作用,這些設備被用來延長變壓器在該領域的使用壽命。

    真空可用于為機械設備提供動力或提供幫助。在混合動力柴油發動機機動車輛中,發動機上安裝的泵(通常在凸輪軸上)用于產生真空。相反,在汽油發動機中,真空通常是作為發動機運行的副作用和由節氣門板產生的流量限制而獲得的,但也可以通過電動真空泵來補充,以增強制動輔助或改善燃料消費。然后可以使用此真空為以下汽車部件提供動力:液壓制動器的真空伺服助力器,即移動電機阻尼器的通風系統、油門在驅動巡航控制伺服系統、門鎖或后備箱釋放。

    在飛機上,真空源通常用于為各種飛行儀器中的陀螺儀供電。為了防止在發生電力故障時完全丟失儀器,儀表板刻意設計了某些由電驅動的儀器和其他由真空源供電的儀器。

    根據應用的不同,某些真空泵可以是電動的(使用電流)或氣動的(使用氣壓),也可以通過其他方式提供動力和驅動。

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    1. 什么是真空泵
    2. 真空泵的類型
    3. 真空泵的應用

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