數字微鏡裝置，是?microoptoelectromechanical系統（MOEMS），其是從該商標DLP投影技術的核心德州儀器（TI）。德州儀器（TI）的數字微鏡裝置由固態物理學家和TI資深研究員拉里·霍恩貝克（Larry Hornbeck）于1987年創建。但是，該技術可以追溯到1973年，哈維·內森森（MEMS的發明者是1965年）使用了數百萬個微小的顯微鏡移動后視鏡以創建數字投影儀中現有類型的視頻顯示。

數字微鏡裝置項目始于1977年，當時是使用微機械模擬光調制器的可變形反射鏡設備。xxx個模擬數字微鏡裝置產品是TI 數字微鏡裝置2000機票打印機，它使用數字微鏡裝置代替了激光掃描儀。

數字微鏡裝置芯片在其表面上具有以矩形陣列布置的數十萬個微鏡，這些微鏡與要顯示的圖像中的像素相對應。反射鏡可以單獨旋轉±10-12°到打開或關閉狀態。在開啟狀態下，來自投影機燈泡的光會反射到鏡頭中，從而使像素在屏幕上顯得明亮。在關閉狀態下，光線被導引到其他地方（通常到散熱片上），使像素看起來很暗。

為了產生灰度，必須快速打開和關閉反射鏡，并且開啟時間與關閉時間之比決定了產生的陰影（二進制脈沖寬度調制）。當代的數字微鏡裝置芯片最多可以產生1024個灰度陰影（10位）。有關在基于數字微鏡裝置的系統中如何生成彩色圖像的討論。

鏡子本身由鋁制成，寬約16微米。每個支架都安裝在一個軛架上，該支架又通過順應扭力鉸鏈連接到兩個支柱。在這種類型的鉸鏈中，軸固定在兩端，中間彎曲。由于規模小，鉸鏈疲勞不是問題，測試表明，即使進行1萬億（10?¹²）的操作也不會造成明顯的損壞。測試還表明，鉸鏈不會被正常的沖擊和振動損壞，因為它會被數字微鏡裝置上部結構吸收。

兩對電極通過靜電吸引來控制反射鏡的位置。每對電極在鉸鏈的每一側都有一個電極，其中一對電極定位為作用在軛架上，另一對直接作用在后視鏡上。在大多數情況下，相等的偏置電荷會同時施加到兩側。與其將鏡子翻轉到中心位置，不如將鏡子實際保持在當前位置。這是因為在已經向鏡子傾斜的一側上的吸引力更大，因為那一側更靠近電極。

為了移動反射鏡，首先將所需狀態加載到位于每個像素下方的SRAM單元中，該SRAM單元也連接至電極。一旦所有SRAM單元均已加載，便去除偏置電壓，從而使SRAM單元中的電荷占優勢，從而移動反射鏡。恢復偏壓后，后視鏡將再次保持在原位，下一個所需的移動可被加載到存儲單元中。

使用偏置系統是因為它降低了尋址像素所需的電壓電平，以便可以直接從SRAM單元對其進行驅動，并且因為可以同時去除整個芯片的偏置電壓，所以每個反射鏡都會移動在同一瞬間。后者的優點是更精確的定時和更電影般的運動圖像。

這些故障模式是由內部污染引起的，通常是由于密封件故障腐蝕了后視鏡支架造成的。一個相關的故障是在2007年至2013年之間使用的膠水，該膠水在熱和光的作用下會降解并放氣：這通常會導致玻璃內部起霧，最終導致白/黑像素。如果現有的不良像素可以作為投影圖像的一部分或以其他方式進行映射（包括3D掃描），則通常無法修復這種缺陷，但是有缺陷的數字微鏡裝置芯片有時可以用于不太重要的項目，而這些項目不需要快速更改圖案。