超聲波噴嘴是一種噴霧噴嘴，它利用壓電換能器產生的高頻振動作用在噴嘴頭上，從而在液膜中產生毛細波。一旦毛細管波的振幅達到臨界高度（由于發生器提供的功率水平），它們就會變得太高而無法支撐自身，微小的液滴會從每個波的尖端掉落，從而導致霧化。

影響初始液滴尺寸的主要因素是振動頻率、表面張力和液體粘度。頻率通常在20–180 kHz范圍內，超出了人的聽力范圍，在此范圍內，最高頻率會產生最小的液滴大小。

1962年，羅伯特·朗格博士繼續進行這項工作，從本質上證明了他的霧化液滴尺寸與瑞利液體波長之間的相關性。超聲波噴嘴由Harvey L. Berger博士首先商業化。?1975年1月21日公開的美國A 3861852，“帶有改進的超聲霧化器的燃油燃燒器”，轉讓給Harvey Berger。

該技術的后續用途包括涂覆采血管，在印刷電路板上噴涂助焊劑、涂覆可植入藥物洗脫支架和氣球/導管、浮法玻璃制造涂層、食品上的抗菌涂層、精密半導體涂層和用于太陽能電池和燃料電池制造的替代能源涂料等。

藥物如西羅莫司（也稱為雷帕霉素）和紫杉醇使用具有或不具有賦形劑涂覆的藥物洗脫支架（DES）和藥物涂層球囊（DCB）的表面上。這些設備極大地受益于超聲波噴嘴，因為它們能夠以很小的損失或沒有損失地施加涂層。諸如DES和DCB之類的醫療設備由于尺寸小，需要非常窄的噴霧形式，低速霧化噴霧和低壓空氣。

研究表明，超聲噴嘴可以有效地用于制造質子交換膜燃料電池。通常使用的墨水是鉑-碳懸浮液，其中鉑在電池內部充當催化劑。將催化劑施加到質子交換膜上的傳統方法通常包括絲網印刷或醫生刀片。但是，由于催化劑趨于形成附聚物，導致電池中氣體流動不均勻，并阻止催化劑完全暴露，并存在溶劑或載液可能被吸收的風險，因此該方法可能會具有不良的電池性能。進入膜中，都阻礙了質子交換效率。當使用超聲波噴嘴時，可以通過小且均勻的液滴尺寸，改變液滴行進的距離并向基材施加少量熱量以使液滴在干燥過程中干燥，從而使噴霧盡可能干燥。到達基材之前先通入空氣。與其他技術相比，過程工程師可以更好地控制這些類型的變量。另外，由于超聲波噴嘴恰好在霧化之前和霧化期間將能量提供給懸浮液，因此懸浮液中可能的附聚物被破壞，導致催化劑的均勻分布，從而導致催化劑的效率更高，進而導致燃料電池的效率更高。

超聲波噴嘴技術已用于在透明導電膜（TCF）的形成過程中創建銦錫氧化物（ITO）膜。ITO具有出色的透明性和較低的薄層電阻，但是它是一種稀缺的材料，容易開裂，因此不能使其成為新的柔性TCF的理想選擇。另一方面，石墨烯可以制成撓性膜，極具導電性并且具有高透明性。銀納米線（AgNWs）與石墨烯結合使用時，據報道是有前途的，優于ITO的TCF替代品。先前的研究集中于不適用于大面積TCF的旋涂和棒涂方法。利用氧化石墨烯的超聲波噴涂和傳統的AgNWs噴涂再加肼的多步驟工藝蒸汽還原，然后再涂覆聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）面漆，形成了可縮放的TCF，可縮放成較大的尺寸。

CNT薄膜用作替代材料，以創建用于觸摸面板顯示器或其他玻璃基板的透明導電膜（TCO層），以及有機太陽能電池有源層。

微機電系統（MEM）是將電氣和機械組件結合在一起的小型微制造設備。設備的尺寸從不到1微米到毫米不等，可以單獨或以陣列的形式起作用，以感測、控制和激活微米級的機械過程。示例包括壓力傳感器、加速計和微引擎。MEM的制造涉及在Si晶片上沉積均勻的光刻膠層。傳統上已經使用旋涂技術將光致抗蝕劑應用于IC制造中的晶圓。在具有高深寬比的蝕刻區域的復雜MEMs器件中，由于需要去除多余金屬的高旋轉速度，因此難以使用旋涂技術實現沿深溝槽和溝槽的頂部，側壁和底部的均勻覆蓋。超聲噴涂技術用于將光刻膠的均勻涂層噴涂到高深寬比MEMs器件上，并且可以xxx程度地減少光刻膠的使用和過度噴涂。

超聲波噴嘴的無堵塞特性，由其產生的小而均勻的液滴尺寸以及可以通過嚴格控制的空氣成形裝置對噴霧羽流進行成形的事實使該應用在波峰焊過程中取得了相當大的成功。市場上幾乎所有助焊劑的粘度都非常適合該技術的能力。在焊接中，高度優先選用“免清洗”助焊劑。但是，如果使用過量，則該過程將導致電路組件底部的腐蝕殘留物。

光伏和染料敏化太陽能技術在制造過程中都需要使用液體和涂料。由于大多數這些物質非常昂貴，因此使用超聲波噴嘴可將由于過度噴涂或質量控制而造成的任何損失降至最低。為了降低太陽能電池的制造成本，傳統上是使用分批式磷酰氯或POCl?₃方法完成的，結果表明，使用超聲波噴嘴將薄水基薄膜沉積到硅片上可以有效地用作太陽能電池。擴散過程以產生具有均勻表面電阻的N型層。

超聲噴霧熱解是一種化學氣相沉積（CVD）方法，用于形成薄膜或納米顆粒形式的多種材料。前體材料通常通過溶膠-凝膠法制造，其實例包括硝酸銀水溶液的形成，氧化鋯顆粒的合成和固體氧化物燃料電池SOFC陰極的制造。

由超聲波噴嘴產生的霧化噴霧要經受加熱的基材，通常溫度范圍為300-400攝氏度。由于噴霧室的高溫，超聲波噴嘴的延伸部分噴嘴引燃物，例如可移動的尖端被設計為在保護人體的同時經受高溫包含溫度敏感壓電的超聲波噴嘴的示意圖元件，通常在噴霧室外部或通過其他隔離方式。