• 梳狀驅動器

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    梳狀驅動器

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    梳狀驅動器是微機電致動器,通常用作線性致動器,它利用作用在兩個導電梳之間的靜電力。梳狀驅動致動器通常在微米或納米尺度上運行,并且通常通過對硅晶片襯底進行體微機械加工或表面微機械加工來制造。

    當在靜態和移動梳子之間施加電壓導致它們被拉到一起時,就會產生靜電吸引力。致動器產生的力與兩個梳齒之間的電容變化成正比,隨著驅動電壓、梳齒數量和齒間間隙的增加而增加。梳子被排列成它們永遠不會接觸(因為那樣就不會有電壓差)。通常,齒的排列使得它們可以相互滑過,直到每個齒都占據相對梳中的槽。

    如果要將電機的線性操作轉換為旋轉或其他運動,則可以添加恢復彈簧、xxx和曲軸

    梳狀驅動器的結構

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    成排的互鎖齒?半固定?可移動組件的一半?電隔離?靜電吸引/排斥–CMOS驅動電壓?許多齒增加了力–通常為10μm長且堅固。

    梳狀驅動器

    縮放問題

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    梳狀驅動器不能擴展到大間隙距離(相當于驅動距離),因為在大間隙距離上產生有效力需要高電壓——因此受到電擊穿的限制。更重要的是,間隙距離施加的限制限制了驅動距離。

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    1. 梳狀驅動器
    2. 梳狀驅動器的結構
    3. 縮放問題

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