真空法蘭是管端的法蘭，用于將真空室、管道和真空泵相互連接。真空法蘭用于科學和工業應用，以允許各種設備通過物理連接進行交互，以及從真空室外部進行真空維護、監控和操作。存在幾種法蘭標準，它們在最終可達到的壓力、尺寸和易于連接方面存在差異。

存在幾種真空法蘭標準，相同的法蘭類型被不同的制造商和標準組織稱為不同的名稱。

ISO標準快速釋放法蘭的名稱為QuickFlange(QF)、KleinFlansche（KF，德語，在英語中翻譯為小法蘭）或NW，有時也稱為DN。KF名稱已被ISO、DIN和Pneurop采用。KF法蘭由帶倒角的后表面制成，該后表面附有圓形夾具和安裝在金屬定心環中的彈性O形圈（AS568規范）。對于直徑為10至50mm的法蘭，標準尺寸由公稱內徑以毫米為單位表示。尺寸10、20和32是不太常見的尺寸（參見Renard數字）。一些尺寸與其各自較大的相鄰尺寸共享其法蘭尺寸，并使用相同的夾具尺寸。這意味著DN10KF可以通過使用自適應定心環與DN16KF配合。這同樣適用于DN20KF至DN25KF和DN32KF至DN40KF。

ISO大型法蘭標準被稱為LF、LFB、MF或有時只是ISO法蘭。與KF法蘭一樣，法蘭由定心環和彈性O形圈連接。通常在大直徑O形圈周圍使用額外的彈簧加載圓形夾具，以防止它們在安裝過程中從定心環上滾落。ISO大法蘭有兩種。ISO-K（或ISOLF）法蘭用雙爪夾連接，夾在法蘭管側的圓形凹槽上。ISO-F（或ISOLFB）法蘭有孔，用于用螺栓連接兩個法蘭。兩個帶ISO-K和ISO-F法蘭的管子可以通過用單爪夾夾住ISO-K側連接在一起，然后用螺栓固定到ISO-F側的孔中。ISO大型法蘭的標稱管徑為63至500mm：

CF（ConFlat）法蘭采用無氧高導熱銅墊片和刀口法蘭實現超高真空密封。ConFlat一詞是Varian,Inc.的注冊商標，因此其他法蘭制造商通常使用CF。兩個相配的CF法蘭的每個面都有一個刀刃，它切入較軟的金屬墊圈，提供了極其密封的金屬對金屬密封。金屬墊片的變形填補了法蘭中的小缺陷，允許Conflat法蘭在低至10?13Torr(10?11Pa)壓力下運行。刀刃凹入每個法蘭的凹槽中。除了保護刀刃外，凹槽還有助于將墊圈固定到位，從而使兩個法蘭對齊并減少烘烤過程中的墊圈膨脹。對于不銹鋼對扁法蘭，可以達到450℃的烘烤溫度；溫度受墊片材料選擇的限制。CF法蘭無性別且可互換。在北美，法蘭尺寸以法蘭外徑為單位，以英寸為單位，而在歐洲和亞洲，尺寸以管內徑為單位，以毫米為單位。盡管命名約定不同，但實際法蘭是相同的。ConFlat墊圈最初是由WilliamWheeler和瓦里安的其他工程師發明的，目的是制造一種在烘烤后不會泄漏的法蘭。

Wheeler法蘭是一種大型線密封法蘭，通常用于大型真空室。

在美國普及的法蘭標準由美國國家標準協會(ANSI)編纂，有時也以該組織以前的名稱美國標準協會(ASA)命名。這些法蘭是彈性O形圈密封件，可用于真空和壓力應用。法蘭尺寸由管標稱內徑（ANSI命名約定）或法蘭外徑以英寸表示（ASA命名約定）。

為了實現真空密封，需要使用墊圈。彈性O形密封圈可由丁腈橡膠、氟橡膠、硅橡膠或聚四氟乙烯制成。O形圈可以放置在凹槽中，也可以與定心環結合使用，或作為由單獨的金屬環固定在適當位置的捕獲O形圈。金屬墊片用于超高真空系統，其中彈性體的脫氣可能是一個重要的氣體負荷。銅環墊片與對平法蘭一起使用。可以使用由銅、金或銦制成的金屬絲墊片。

真空饋通是一個法蘭，它包含與真空室的真空密封電氣、物理或機械連接。電饋通允許將電壓施加到真空下的組件，例如燈絲或加熱器。物理饋通的一個示例是用于冷卻水的真空密封連接。機械饋通用于在真空下旋轉和平移組件。搖桿是一種機械饋通裝置，可用于拾取、移動和以其他方式操縱真空室中的物體。