臭氧化物是多原子陰離子O?3。 由臭氧 (O_{3) 加成到烯烴中形成的環狀有機化合物也稱為臭氧化物。}

無機臭氧化物是暗紅色的鹽。 陰離子具有臭氧分子的彎曲形狀。

無機臭氧化物是通過在臭氧中燃燒鉀、銣或銫，或用臭氧處理堿金屬氫氧化物而形成的； 這分別產生臭氧化鉀、臭氧化銣和臭氧化銫。 它們是非常敏感的炸藥，必須在低溫下在惰性氣體組成的氣氛中處理。 鋰和臭氧化鈉極不穩定，必須通過低溫離子交換從 CsO_{3 開始制備。 臭氧化鈉 NaO3 易分解成 NaOH 和 NaO2，以前被認為不可能在 純粹的形式。 然而，在穴配體和甲胺的幫助下，可以得到與 NaNO2. 同構的紅色晶體純臭氧化物鈉。 子>}

正在研究離子臭氧化物作為化學氧氣發生器中的氧氣來源。 臭氧化四甲基銨可通過與臭氧化銫在液氨中進行復分解反應制成，在高達 348 K（75 °C）時穩定：

CsO 3 + [ ( CH 3 ) 4 N ] [ O 2 ] ? CsO 2 + [ ( CH 3 ) 4 N ] [ O 3 ] {\displaystyle {\ce {CsO3 + [(CH3)4N][O2 ]-> CsO2 + [(CH3)4N][O3]}}}

堿土金屬臭氧化物化合物也已為人所知。 例如，臭氧化鎂絡合物已在低溫氬基質中分離出來。

亞磷酸鹽 (RO)_{3PO3 用于生產單線態氧。 它們是通過在低溫下將亞磷酸酯在二氯甲烷中臭氧化而制成的，并分解產生單線態氧和磷酸酯：}

• ( RO ) 3 P + O 3 ? ( RO ) 3 PO 3 {\displaystyle {\ce {(RO)3P + O3 -> (RO)3PO3}}}
• ( RO ) 3 PO 3 ? ( RO ) 3 PO + O 2 1 {\displaystyle {\ce {(RO)3PO3 ->; (RO)3PO + {1}O2}}}

Molozonides 由臭氧和烯烴之間的加成反應形成。 它們在臭氧分解反應序列的過程中很少被分離出來。 Molozonides 不穩定，會迅速轉化為具有五元 C–O–O–C–O 環的三氧戊環結構。 它們通常以散發惡臭的油狀液體形式出現，遇水迅速分解為羰基化合物：醛類、酮類、過氧化物。