特性

化學式ClF3摩爾質量92.45 g·mol?1外觀無色氣體或黃綠色液體氣味有甜味、刺激性、刺激性、窒息性密度3.779 g/L熔點?76.34 °C (?105.41 °F; 196.81 K)沸點11.75 °C (53.15 ° F; 284.90 K)（在 180 °C (356 °F; 453 K) 時分解）水中溶解度與水反應溶解度與苯、甲苯、乙醚、酒精、乙酸、己烷反應。 易溶于CCl4，但在高濃度下可爆炸。蒸氣壓175 kPa磁化率(χ)?26.5×10?6 cm3/mol粘度91.82 μPa s

結構

分子形狀T型

熱化學

熱容 (C)63.9 J K?1 mol?1標準摩爾熵 (S?298)281.6 J K?1 mol?1標準生成焓 (ΔfH?298)?163.2 kJ mol?1吉布斯自由能 (ΔfG?)?123.0 kJ mol ?1

相關化合物

五氟化氯

一氟化氯三氟化溴三氟化碘

除非另有說明，否則數據是針對處于標準狀態（25°C [77°F]，100kPa）的材料提供的。

三氪化學是一種鹵間化合物，化學式為ClF3。 這種無色、有毒、腐蝕性和極易反應的氣體會凝結成淡綠黃色液體，這是它最常銷售的形式（在室溫下加壓）。 該化合物主要用于半導體行業的無等離子體清潔和蝕刻操作、核反應堆燃料加工、作為火箭燃料的組分以及其他工業操作。

1930年由Ruff和Krug首先報道，他們用氯的氟化法制得； 這也產生了 ClF（一氟化氯），混合物通過蒸餾分離。

3 F2 + Cl2 → 2 ClF3

ClF3 的分子幾何形狀大致為 T 形，具有一個短鍵 (1.598 ?) 和兩個長鍵 (1.698 ?)。 這種結構與 VSEPR 理論的預測一致，該理論預測孤電子對占據假設的三角雙錐的兩個赤道位置。 延長的 Cl-F 軸向鍵與超價鍵一致。

純 ClF3 在石英容器中穩定至 180 °C (356 °F)； 高于此溫度，它會通過自由基機制分解為其組成元素。

與許多金屬反應生成氯化物和氟化物。 與磷一起生成三氯化磷 (PCl3) 和五氟化磷 (PF5)，而與硫一起生成二氯化硫 (SCl2) 和四氟化硫 (SF4)。 ClF3 還與水反應生成氟化氫和氯化氫，以及氧氣和二氟化氧 (OF2)：

ClF3 + H2O → HF + HCl + OF2ClF3 + 2H2O → 3HF + HCl + O2

它還會將許多金屬氧化物轉化為金屬鹵化物和氧氣或二氟化氧。

它作為配體出現在復雜的 CsF(ClF_3)3.

ClF3 的主要用途之一是通過鈾金屬的氟化生產六氟化鈾 UF6，作為核燃料加工和后處理的一部分：

U + 3 ClF3 → UF6 + 3 ClF

該化合物也可以根據以下方案解離：

ClF3 → ClF + F2

在半導體工業中，三氟化氯用于清潔化學氣相沉積室。 它的優點是可用于從腔室壁上去除半導體材料。