梳狀驅動器是微機電致動器，通常用作線性致動器，它利用作用在兩個導電梳之間的靜電力。 光束致動致動器通常在微米或納米尺度上運行，通常通過體微加工或表面微加工硅晶片基板來制造。

當在靜態梳子和移動梳子之間施加電壓導致它們被拉到一起時，就會產生吸引靜電力。 致動器產生的力與兩個梳子之間的電容變化成正比，隨驅動電壓、梳齒數和齒間間隙的增加而增加。 梳子的排列使它們永遠不會接觸（因為那樣就不會有電壓差）。 典型地，齒被布置成使得它們可以彼此滑動，直到每個齒占據相對梳子中的槽為止。

如果要將電機的直線運動轉換為旋轉或其他運動，可以添加復位彈簧、xxx和曲軸。

可以通過首先從存儲在電容器中的能量開始，然后對力的方向進行微分來導出力。

? 成排互鎖齒? 半固定? 活動組件的一半? 電氣隔離? 靜電吸引/排斥– CMOS 驅動電壓? 多齒增加力– 通常10μm 長且強度大

光束狀態致動器不能縮放到大間隙距離（等效驅動距離），因為在大間隙距離處產生有效力需要高電壓——因此受到電擊穿的限制。 更重要的是，間隙距離施加的限制限制了致動距離。